1.流量范围：2~2000ml/min

2.使用寿命长的微电子传感器芯片(传感器系统使用CMOS兼容MEMS工艺制造)：

3.芯片表面采用导热性高的陶瓷材料钝化，避免传感器与气体介质直接接触，同时保证传感器的灵敏度。

4.采用类似大型集成电路的微机电系统芯片加工技术和生产技术及材料生长技术，传感器尺寸缩小至微米级。

5.多个传感器集成在单个传感器芯片上，可以测量低至0.01m/sec及高达65m/sec。

6.测量精度+/-2.0%，MEMS芯片直接管道测试

不使用旁路结构，提高测量精度；

7.管道设计为文丘里结构，稳定性高；

8.在没有额外温度和压力补偿的情况下显示标状流量；

9.壁挂或嵌入式LED显示屏(响应时间快，显示刷新时间125ms）；

10.超低的开始流量，500:1（0.3-300SLPM）；

11.分辨率较宽，瞬时流量0.1SLPM，累计流量0.001m3；

12.总流量99999.999m3（LED显示）

13.配有RS485通信模块，配合上位机网络实现集中管控；

14.分体式显示器，便于方便，现场显示方便。