医用气体工程氧气流量计

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1、MEMS 微电子传感器芯片,使用寿命长(传感器系采用的 CMOS兼容 MEMS 工艺制造):

A、芯片表面采用具有高导热性能的陶瓷材料钝化处理,在保证传感器的灵敏度的同时避免传感器与气体介质直接接触。

B、传感器的尺寸达微米量级。

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C、大规模集成电路的生产方式制成。

D、单个传感芯片上集成多个传感器,传感器可测量低至

0.01m/sec 及高达 65m/sec。

2、测量精度+/-2.0%,MEMS 芯片直接管路测量,不使用旁路结构;

3、管路设计是文丘里结构;

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4、显示标况流量,无需额外的温度和压力补偿;

5、壁挂或者嵌入式 LED 显示屏(响应时间快,显示刷新时间为 125ms);

6、低始动流量,500:1 以上的显示测量(0.3-300SLPM);

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7、宽分辨率,瞬时流量 0.1SLPM,累计流量 0.001m³;

8、总流量 99999.999m³(LED 显示)

9、配有 RS485 通讯模块,配合上位机网络实现集中化管理与控制;

10、分体式显示器,便于隐蔽式安装和方便的现场显示;